中國古代即已應用濾油機于生產，公元前二百年已有植物纖維制作的紙。公元105年，蔡倫改進了造紙法，他在造紙過程中將植物纖維紙漿蕩于致密的細竹簾上，水經竹簾縫隙濾過，一薄層濕紙漿留于竹簾面上，干后即成紙張。

最早的過濾大多為重力過濾，后來采用加壓過濾提高了濾油機的過濾速度，進而又出現了真空過濾。20世紀初發明的轉鼓真空濾油機實現了過濾操作的連續化。此后，各種類型的連續自清洗濾油機相繼出現。間歇操作的自清洗濾油機因能實現自動化操作而得到發展，過濾面積越來越大。為得到含濕量低的濾渣，機械壓榨的自清洗濾油機得到了發展。

自清洗濾油機應根據懸浮液的濃度、固體粒度、液體粘度和對過濾質量的要求選用。先選擇幾種過濾介質，利用過濾漏斗實驗，測定不同過濾介質和不同壓差下的過濾速度、濾液的固體含量、濾渣層的厚度和含濕量，找出適宜的過濾條件，初步選定自清洗濾油機類型，再根據處理量選定過濾面積，并經實際試驗驗證。

真空濾油機是在濾液出口處形成負壓作為過濾的推動力。這種自清洗濾油機又分為間歇操作和連續操作兩種。間歇操作的真空自清洗濾油機可過濾各種濃度的懸浮液，連續操作的真空自清洗濾油機適于過濾含固體顆粒較多的稠厚懸浮液。